S500 Sreies

GaN및 SiC를 포함한 오늘날의 아날로그 및 전력 반도체 기술에는 측정 성능을 최대화하고, 광범위한 제품의 혼용을 지원하며, 테스트 비용을 최소화하는 파라메트릭 테스트가 필요합니다. 40년이 넘는 기간 동안, Keithley는 프로세스 통합, 프로세스 제어 모니터링, 생산 다이 정렬(예: 웨이퍼 허용률 또는 정상으로 확인된 다이 테스트) 및 신뢰성 등의 중요한 애플리케이션에서 이를 포함한 여러 중요한 문제를 해결해 왔습니다.

KTE 7 소프트웨어를 사용한 Keithley의 S530 시리즈 파라메트릭 테스트 시스템은 새로운 애플리케이션이 출현하고 요구사항이 변경됨에 따라 성장할 수 있는 고속의 유연한 구성을 제공합니다. S530은 최대 200V의 테스트를 지원하며, S530-HV는 모든 핀에서 최대 1,100V의 테스트를 지원하여 경쟁업체의 솔루션 대비 성능을 최대 50% 향상합니다. KTE 7은 프로버로의 직접 도킹 및 레거시 프로브 카드 재사용, 자동차 표준 IATF-16949의 요구사항을 지원하는 시스템 수준 ISO-17025 핀 교정, 그리고 전체 데이터 상관관계 및 속도 향상을 통해 레거시 S600 및 S400 시스템으로부터의 가장 쉽고 유연한 마이그레이션 경로를 지원하는 선택적인 시스템 테스트헤드입니다.

540 파라메트릭 테스트 시스템은 최대 3kV의 전력 반도체 기기 및 구조에 대해 웨이퍼 레벨 테스트를 수행하기 위한 전자동 48핀 파라메트릭 테스트 시스템입니다. SiC(탄화규소), GaN(질화칼륨)을 포함하는 최신 합성 전력 반도체 물질에서 사용하도록 최적화된 이 완전 통합형 S540은 단일 프로브 터치 다운에서 모든 저전압, 저전압 및 커패시턴스 테스트를 수행할 수 있습니다.

S500 통합 테스트 시스템은 장치, 웨이퍼 또는 카세트 레벨의 반도체 특성화를 위해 고도로 구성 가능한 장비 기반 시스템입니다. 우수성이 입증된 Keithley의 장치를 기반으로 구축된 S500 통합 테스트 시스템은 혁신적인 측정 기능 및 요구 사항에 맞게 확장 가능한 유동적인 시스템을 제공합니다. 고유한 측정 기능과 강력하면서도 유동적인 ACS(Automated Characterization Suite) 소프트웨어를 함께 사용하여, 현재 시판 중인 어떤 유사 시스템에서도 제공되지 않는 포괄적인 애플리케이션과 기능을 이용할 수 있습니다.